Мишени

Применение

Технология магнетронного напыления ориентирована на применение навыков в производстве покрытий пленочных материалов, драгоценных материалов, технологии тонкой химии и технологии обработки

Характеристики

Материал	Состав [%]	Чистота
Ag	100%	3N7, 4N, 5N
Al	100%	5N, 5N5
AlSi	различный	5N, 5N5
AlSiCu	различный	5N, 5N5
Au	100%	4N, 5N
AuAs	AuAs0,4	4N, 5N
AuGe	AuGe12	4N, 5N
AuPt	различный	4N
AuSb	AuSb0,5 (30)	4N, 5N
AuSn	AuSn20 (25, 30)	4N, 5N
AuZn	AuZn2 (5)	4N
CoFeB	различный	4N, 4N5
Cr	100%	3N, 3N5
CrNiAl	различный	3N, 3N5
CrSi	CrSi50	3N
Cu	100%	4N5, 5N
CuCr	CuCr50	3N5
CuNi	различный	3N5
Hf	100%	3N (excl. Zr)
Ir	100%	3N
Mo	100%	3N5
MoSi	100%	3N5
Ni	100%	3N5
NiAl	различный	3N5, 3N8
NiCr	различный	3N, 3N5
NiCrAl	NiV7	3N, 3N5
NiCrAlSi	OsRu20	3N, 3N5
NiCrSi	100%	3N, 3N5
NiPt	различный	3N
NiV	NiV7	3N5
OsRu	OsRu20	3N5
Pd	100%	3N5, 4N
Pt	100%	3N5, 4N
Ru	100%	2N8, 3N, 3N8
Si	100%	5N
Ta	100%	3N5
TaAl	различный	3N5
TaSi	100%	3N, 4N, 4N5, 5N
Ti	100%	3N, 4N, 4N5, 5N
TiW	TiW10	4N5
W	100%	3N5
WSi	TiW10	4N5

Показывать как: